廢氣處理的具體工藝有以下幾種：

　　活性炭吸附法：活性炭是一種多孔性的吸附劑，具有很強的吸附能力。廢氣通過活性炭后，其中的有害物質(zhì)被吸附在活性炭表面，達到凈化廢氣的目的。該方法適用于低濃度、大風(fēng)量的廢氣處理，具有工藝簡單、投資低、易于管理等優(yōu)點。但是，活性炭吸附法需要頻繁更換活性炭，運行成本較高，同時如果廢氣中有腐蝕性氣體，還會對活性炭造成腐蝕。

　　吸收法：吸收法是一種利用吸收劑吸收廢氣中的有害物質(zhì)的方法。廢氣通過吸收劑后，其中的有害物質(zhì)被吸收劑吸收，凈化后的氣體排出。該方法適用于中高濃度、中低風(fēng)量的廢氣處理，具有工藝簡單、易于管理等優(yōu)點。但是，吸收法需要頻繁更換吸收劑，運行成本較高，同時如果廢氣中含有腐蝕性氣體，還會對吸收劑造成腐蝕。

　　催化燃燒法：催化燃燒法是一種利用催化劑將廢氣中的有害物質(zhì)氧化分解的方法。廢氣通過催化劑后，在高溫下進行氧化分解反應(yīng)，生成二氧化碳和水等無害物質(zhì)。該方法適用于中高濃度、中低風(fēng)量的廢氣處理，具有凈化效率高、運行成本低等優(yōu)點。但是，催化燃燒法需要使用催化劑，如果廢氣中含有硫化物等有害物質(zhì)，會對催化劑造成中毒失效等問題。

　　等離子法：等離子法是一種利用高壓電場產(chǎn)生等離子體對廢氣進行凈化處理的方法。廢氣通過高壓電場后，其中的有害物質(zhì)被電離分解成離子和電子等無害物質(zhì)。該方法適用于低濃度、大風(fēng)量的廢氣處理，具有工藝簡單、易于管理等優(yōu)點。但是，等離子法需要消耗電能產(chǎn)生電場，運行成本較高。

　　以上是廢氣處理常見的幾種工藝，每種工藝都有其優(yōu)缺點和適用范圍，需要根據(jù)實際情況選擇合適的工藝進行廢氣處理。